捷銳U53系(xi)列高純減壓器
作(zuò)者：admin 發布時間：2025-12-13 13:39:25 浏覽(lan)次數 :772
U53系列減壓器(qì)适用于高純氣體(ti)應用，采用内部無(wu)螺🔴紋、非焊🐅接膜片(pian)結構。膜片和閥體(tǐ)的密封采用
了硬(yìng)密封的設
計，降低(dī)洩漏率，同時提高(gao)了安全性和使用(yòng)壽命。
結構特點
316L不(bu)鏽鋼母體
膜片式(shì)硬密封，洩漏率低(dī)
可采用面闆安裝(zhuāng)和後座安裝
壓力(li)表标準連接：1/4" FRS(M), 可選(xuan)1/4" FRS(F)
内部電解抛光
專(zhuān)爲高純淨應用生(shēng)産制造
高潔淨的(de)組裝和包裝适用(yong)于高潔淨度的半(bàn)導體行業
使用壽(shou)命長
100%氦氣測試
材(cái)質
母體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片(pian)：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特性
流(liu)量：Cv=0.054
母體洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗(yàn)證壓力：最大額定(dìng)壓力的150%
設計爆破(pò)壓力：最大額定壓(ya)力的400%
工作條件
最(zuì)大的入口壓力：300 psi (20 bar)
出(chū)口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dào)表面
标準：Ra 20 µin
内部容(róng)積
9.3 cc
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