U53系列減壓器适用于高純氣體應用，采用内部無螺紋、非焊~接😵💫膜片結構。膜片和閥體的密封采用
了硬密封的設
計，降低洩漏率，同時提高了安全性和使用壽命。
結構特點
316L不鏽鋼母體
膜片式硬密封，洩漏率低
可采用面闆安裝和後座安裝
壓力表标準連接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内部電解抛光
專爲高純淨應用生産制造
高潔淨的組裝和包裝适用于高潔淨度的半導體行業
使用壽命長
100%氦氣測試
材質
母體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特性
流量：Cv=0.054
母體洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓力：最大額定壓力的150%
設計爆破壓力：最大額定壓力的400%
工作條件
最大的入口壓力：300 psi (20 bar)
出口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面
标準：Ra 20 µin
内部容積
9.3 cc
